中低橡膠空氣彈簧，中低橡膠空氣彈簧減壓條件下的流動(dòng)氣體環(huán)境已用于低壓化學(xué)蒸發(fā)淀積、減壓外延和幾種等離子體工藝過(guò)程。所有這些工藝的共同環(huán)節是抽除有害氣體。機械橡膠空氣彈簧和松夏橡膠空氣彈簧很適用于維持10至104Pa范圍的動(dòng)態(tài)壓強。在低壓化學(xué)蒸發(fā)淀積和等離子體工藝過(guò)程中，通過(guò)反應室的氣流主要用來(lái)連續補充在生長(cháng)或蝕刻過(guò)程中所消耗掉的反應劑。

氣體的消耗率和基片的數最、橡膠空氣彈簧的面積、膜層的生長(cháng)速率和氣體反應劑的稀釋度與消耗量有關(guān)。在某些商用減壓外延工藝中，大的氣流量稀釋反應劑以進(jìn)行生長(cháng)而不是蝕刻。在低壓強下外延硅時(shí)，的反應劑氣體流通常需要用左右的氫氣來(lái)進(jìn)行稀釋?zhuān)⒘鬟^(guò)103至104帕壓強的反應室。減壓外延是一個(gè)相當新的技術(shù)，對于工藝過(guò)程的主要部分將保持這樣大小的載氣流量這一點(diǎn)是不楚的。